Roboter der NS-Serie für die Reinraumanwendung NS410 (nur Arm) mit RTZ-Bewegung mit optionalen Längen einer Linearachse für einen zusätzlichen FOUP-Bereich. Sie bieten eine hohe Leistung bei der Handhabung von 300-mm-Wafern. Die Software und Hardware sind mit Kollisionserkennungsfunktionen ausgestattet und entsprechen den Spannungsfreiheitsstandards SEMI F47 und SEMI S2 Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsstandards.
Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, weißer Raum ISO 1.
Spezifikation des D60-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
- Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 3
ISO-Klasse 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
ISO-Klasse 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Bewegungsbereich (°)
Y-Achse (Verfahrweg JT1): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1.070 mm / 4 FOUP: 1.670 mm
θ-Achse (Drehung JT2): 380 °
Z-Achse (Auf-Ab-JT3): 380 mm
X-Achse (von oben nach unten JT4): 710 mm
F-Achse (Drehung JT5): -
θ-Achse (Drehung JT2): 380 °
Z-Achse (Auf-Ab-JT3): 380 mm
X-Achse (von oben nach unten JT4): 710 mm
F-Achse (Drehung JT5): -
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